标准号T/ZSA 72—2019状态
发布时间：2019年12月31日
实施时间：2020年03月01日
碳化硅单晶基本信息
标准号：T/ZSA 72—2019
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：碳化硅材料是继第一代半导体材料(以硅为代表)和第二代半导体材料(以砷化镓和磷化铟为代表)之后，在近十年发展起来的第三代新型半导体材料。其主要应用领域有LED固态照明、电力电子和微波射频器件。该材料具有宽禁带、高漂移速度、高击穿电场、高热导率、抗辐射等优良特性，在高温、高压、高频、高功率等电子应用领域和航天、军工、强辐射场等极端环境应用有着不可替代的优势。碳化硅材料已成为全球半导体产业的前沿和制高点，随着碳化硅产业的发展，产业链分工细化是必然的趋势，会大量出现只专门加工碳化硅晶片的厂家，碳化硅单晶会单独交易，因此有必要单独制定碳化硅单晶标准。
中国标准分类号：C398 电子元件及电子专用材料制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：碳化硅单晶
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。