标准号SJ/T 11504-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
标准号：SJ/T 11504-2015
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
丁丽、周智慧、蔺娴 等
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
本标准规定了碳化硅单晶抛光片（以下简称“抛光片”）表面质量的目视检验方法。 本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。