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碳化硅单晶晶向的测试方法 (SJ/T 11500-2015)

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碳化硅单晶晶向的测试方法 (SJ/T 11500-2015)

标准号SJ/T 11500-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

碳化硅单晶晶向的测试方法

标准号:SJ/T 11500-2015

中国标准分类号:H83

国际标准分类号:29.046

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

丁丽、郝建民、周智慧 等

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。 本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。

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