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硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 (GB/T 42263-2022)

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硅单晶中氮含量的测定  二次离子质谱法 (GB/T 42263-2022)

标准号GB/T 42263-2022状态

发布于:2022-12-30

实施于:2023-04-01

硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法基本信息

标准号:GB/T 42263-2022

标准类别:方法

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040 77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

主要起草人 马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。

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