标准号GB/T 42271-2022状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法基本信息
标准号：GB/T 42271-2022
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
主要起草人 彭同华 、佘宗静 、王大军 、张贺 、李素青 、王波 、杨建 、袁松 、刘立娜 。