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SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范 (SJ 21441-2018)

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SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范 (SJ 21441-2018)

标准号SJ 21441-2018状态

发布于:2018-01-18

实施于:2018-05-01

SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范基本信息

标准号:SJ 21441-2018

标准名称:SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

英文名称:Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI

发布部门:科技工业局

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