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PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范 (SJ 21122-2016)

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PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范 (SJ 21122-2016)

标准号SJ 21122-2016状态

发布于:2016-01-19

实施于:2016-03-01

PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范基本信息

标准号:SJ 21122-2016

标准名称:PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范

英文名称:Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01

发布部门:科技工业局

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