标准号T/NXCL 017-2022状态
发布日期：2022年12月02日
实施日期：2022年12月02日
300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片基本信息
标准编号：T/NXCL 017—2022
英文标题：300 mm heavily phosphorus-doped single crystaline Czochralski silicon polished wafers
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
起草人：芮阳、倪浩然、王黎光、杨少林、马成、曹启刚、王飞、闫龙、熊欢、王忠宝、李小红、王飞、张兴茂、刘洁、高洪涛、顾燕滨、盛之林、黄柳青、范占军
起草单位：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司
内容概括：本文件规定了300mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺等方面的内容。其中……