标准号T/ZOIA 30001-2022状态
发布日期：2022年12月29日
实施日期：2022年12月29日
MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法基本信息
标准编号：T/ZOIA 30001—2022
国际标准分类号：31.260
中国标准分类号：L 50
国民经济分类：C3990 其他电子设备制造
起草人：陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
起草单位：中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
内容概括：本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及……