标准号SJ 21169-2016状态
发布于：2016-12-14
实施于：2017-03-01
MEMS 惯性器件干法刻蚀工艺技术要求基本信息
标准号：SJ 21169-2016
标准名称：MEMS 惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dry etching process
发布部门：科技工业局
发布于：2016-12-14
实施于：2017-03-01
标准号：SJ 21169-2016
标准名称：MEMS 惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dry etching process
发布部门：科技工业局
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