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200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片 (T/NXCL 016-2022)

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200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片 (T/NXCL 016-2022)

标准号T/NXCL 016-2022状态

发布日期:2022年12月02日

实施日期:2022年12月02日

200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片基本信息

标准编号:T/NXCL 016—2022

英文标题:200 mm heavily antimony-doped single crystaline Czochralski silicon polished wafer

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

起草人:芮阳、商润龙、王黎光、伊冉、曹启刚、杨少林、熊欢、王忠宝、马成、周文辉、马吟霜、魏兴彤、张昆、盛之林、张友海、顾燕滨、黄柳青、范占军

起草单位:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司

内容概括:本文件规定了200mm重掺锑直拉硅单晶抛光片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)内容和质量承诺等方面的内容。其中……

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