标准号T/NXCL 015-2022状态
发布日期：2022年12月02日
实施日期：2022年12月02日
硅部件用柱状多晶硅基本信息
标准编号：T/NXCL 015—2022
英文标题：Columnar polysilicon for silicon parts
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
起草人：李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦
起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院
内容概括：本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、原料、化学成分、物理性……