标准号T/IAWBS 001—2017状态
发布时间：2017年12月20日
实施时间：2018年12月31日
碳化硅单晶基本信息
标准号：T/IAWBS 001—2017
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。本标准规定了碳化硅晶片的拉曼光谱检测方法。本标准适用于在室温下晶向为<0001>的碳化硅晶片的[0001]方向及（0001）面的拉曼光谱检测。本标准规定了碳化硅晶片的摇摆曲线的检测方法。本标准适用于在室温下晶向为[0001]的碳化硅晶片的[0001]方向及（0001）面的摇摆曲线检测。本标准规定了熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶的位错密度的检测方法。本标准适用于碳化硅单晶片。
中国标准分类号：C398 电子元件及电子专用材料制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：碳化硅单晶