标准号JB/T 4082-1991状态
发布于：1991-07-22
实施于：1992-07-01
溅射离子泵技术条件
标准号：JB/T 4082-1991
中国标准分类号：J71
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。
发布于：1991-07-22
实施于：1992-07-01
标准号：JB/T 4082-1991
中国标准分类号：J71
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。
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