发布于：1992-12-24
实施于：1993-07-01
标准号：JB/T 2965-1992
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：机械工业部
行业分类：无
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
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