发布于：1991-07-22
实施于：1992-07-01
标准号：JB/T 4081-1991
中国标准分类号：J71
国际标准分类号：23
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。
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