标准号JB/T 4081-2011状态
发布于：2011-12-20
实施于：2012-04-01
真空技术 溅射离子泵
标准号：JB/T 4081-2011
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
朱国精、邹蒙 等
北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
发布于：2011-12-20
实施于：2012-04-01
标准号：JB/T 4081-2011
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
朱国精、邹蒙 等
北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
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