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硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 (SJ/T 11494-2015)

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硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 (SJ/T 11494-2015)

标准号SJ/T 11494-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

标准号:SJ/T 11494-2015

中国标准分类号:H82

国际标准分类号:29.045

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

李静、何秀坤、刘兵 等

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。 本标准适用于低位错密度(<500个/cm2 )硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定,同时也适用于检测硅单晶中含量为1×10∧11at·cm-3~5×10∧15at·cm-3的各种电活性杂质。

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