标准号GB/T 35306-2017状态
发布于:2017-12-29
实施于:2018-07-01
硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法基本信息
标准号:GB/T 35306-2017
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77.040 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。