标准号SJ/T 11502-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
碳化硅单晶抛光片规范
标准号：SJ/T 11502-2015
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
丁丽、郑红军、蔺娴 等
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。 本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。