标准号T/CAS 304—2018状态
发布时间：2018年05月29日
实施时间：2018年05月29日
磁控溅射硅靶材及绑定靶材基本信息
标准号：T/CAS 304—2018
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。
中国标准分类号：C381 电机制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：磁控溅射硅靶材及绑定靶材
本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。