标准号T/GVS 002—2021状态
发布时间：2021年06月28日
实施时间：2021年06月28日
高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求基本信息
标准号：T/GVS 002—2021
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。
中国标准分类号：C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造
国际标准分类号：23.160
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求
本文件规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于极限压力在10-5 Pa～10-3 Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。