磁控溅射设备通用技术条件 (SJ/T 10478-1994）

标准号SJ/T 10478-1994状态

发布于：1994-04-11

实施于：1994-10-01

磁控溅射设备通用技术条件

标准号：SJ/T 10478-1994

中国标准分类号：L98

国际标准分类号：17.220

批准发布部门：电子工业部

行业分类：无

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。