标准号SJ/T 11185-1998状态
发布于：1998-03-11
实施于：1998-05-01
蒸发镀膜设备通用规范
标准号：SJ/T 11185-1998
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
发布于：1998-03-11
实施于：1998-05-01
标准号：SJ/T 11185-1998
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
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