标准号SJ/T 11131-1997状态
发布于：1997-09-02
实施于：1998-01-01
蒸发镀膜设备基本参数系列
标准号：SJ/T 11131-1997
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
发布于：1997-09-02
实施于：1998-01-01
标准号：SJ/T 11131-1997
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
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