标准号JB/T 6922-2004状态
发布于：2004-10-20
实施于：2005-04-01
真空蒸发镀膜设备
标准号：JB/T 6922-2004
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：国家发展和改革委员会
行业分类：无
周毅、陈月增
北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。