标准号YS/T 819-2012状态
发布于:2012-11-07
实施于:2013-03-01
电子薄膜用高纯铜溅射靶材
标准号:YS/T 819-2012
中国标准分类号:H62
国际标准分类号:77.150.30
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
王学泽、宋佳 等
宁波江丰电子材料有限公司、有研亿金新材料股份有限公司
本标准规定了电子薄膜用高纯铜溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯铜溅射靶材。