标准号YS/T 893-2013状态
发布于：2013-10-17
实施于：2014-03-01
电子薄膜用高纯钛溅射靶材
标准号：YS/T 893-2013
中国标准分类号：H64
国际标准分类号：77.150.50
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
何金江、董亭义 等
有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。