发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
标准号：YS/T 1031-2015
中国标准分类号：H91
国际标准分类号：77.180
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
本标准适用于化学气相沉积。
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