标准号SJ/T 10311-1992状态
发布于:1992-06-15
实施于:1992-12-01
低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准号:SJ/T 10311-1992
中国标准分类号:L99
国际标准分类号:31-550
批准发布部门:电子工业部
行业分类:无
本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
发布于:1992-06-15
实施于:1992-12-01
标准号:SJ/T 10311-1992
中国标准分类号:L99
国际标准分类号:31-550
批准发布部门:电子工业部
行业分类:无
本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
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