标准号SJ/T 10311-1992状态
发布于：1992-06-15
实施于：1992-12-01
低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准号：SJ/T 10311-1992
中国标准分类号：L99
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
发布于：1992-06-15
实施于：1992-12-01
标准号：SJ/T 10311-1992
中国标准分类号：L99
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。
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