标准号JC/T 2243-2014状态
发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准号：JC/T 2243-2014
中国标准分类号：Q35
国际标准分类号：81.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
张葆青、白凤茹
上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。