标准号YS/T 23-2016状态
发布于:2016-04-05
实施于:2016-09-01
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准号:YS/T 23-2016
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:77.040
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。
发布于:2016-04-05
实施于:2016-09-01
标准号:YS/T 23-2016
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:77.040
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。
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