标准号YS/T 24-2016状态
发布于：2016-04-05
实施于：2016-09-01
外延钉缺陷的检验方法
标准号：YS/T 24-2016
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
发布于：2016-04-05
实施于：2016-09-01
标准号：YS/T 24-2016
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
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