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半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020)

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半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020)

标准号SJ/T 11763-2020状态

发布于:2020-12-09

实施于:2021-04-01

半导体制造设备人机界面规范

标准号:SJ/T 11763-2020

中国标准分类号:L95

国际标准分类号:31.550

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

适用于半导体制造设备

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