标准号GB/T 34971-2017状态
发布于：2017-11-01
实施于：2018-02-01
半导体制造用气体处理指南基本信息
标准号：GB/T 34971-2017
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.040.40 71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。