标准号GB/T 42676-2023状态
发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法基本信息
标准号：GB/T 42676-2023
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司。
主要起草人 何烜坤 、刘立娜 、李素青 、庞越 、马春喜 、许蓉 、任殿胜 、王元立 、朱晓彤 、李向宇 、杨阳 、潘金平 、王书明 、赵松彬 、林泉 、李国平 、张新峰 、赵丽丽 、夏秋良 。