标准号GB/T 24578-2009状态
发布于：2009-10-30
实施于：2010-06-01
标准状态：被代替
硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法基本信息
标准号：GB/T 24578-2009
被代替日期：2017-01-01
中国标准分类号：H80
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。