标准号GB/T 39145-2020状态
发布于：2020-10-11
实施于：2021-09-01
硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法基本信息
标准号：GB/T 39145-2020
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。