土方回填是基坑工程最后一道工序，为保证填土的强度和稳定性，应正确选择回填土料和填筑方法，保证回填施工质量。施工前应检查基底的垃圾等杂物清除情况，测量基底标高、边坡坡度，检查验收基础外墙防水层和保护层等。
1、土料选用
回填土料应符合设计要求，可采用碎石类土、砂土、黏土、石粉等，回填土料含水率的大小直接影响到压实质量，压实前应先试验，以得到符合密实度要求的最优含水率。含水率过大，应采取翻松、晾晒、风干、换土、掺入干土等措施；含水率过小，应洒水湿润。
土料不得采用淤泥和淤泥质土，有机质含量不大于5％，土料含水量应满足压实要求。碎石类土或爆破石碴用作回填土料时，其最大粒径不应大于每层铺填厚度的2／3，铺填时大块料不应集中，且不得回填在分段接头处。
2、压实机具
土方回填前，应根据工程特点、土料性质、设计压实系数、施工条件等合理选择压实机具，并确定回填土料含水量控制范围、铺土厚度、压实遍数等施工参数。重要土方回填工程或采用新型压实机具的，应通过填土压实试验确定施工参数。
黏土或排水不良的砂土作为回填土料的，其最优含水量与相应的最大干容重，宜通过击实试验测定或通过计算确定。黏土的施工含水量与最优含水量之差可控制为4%～＋2%，使用振动辗时，可控制为6%～＋2%。各种土的最优含水率可参考下表。含水率控制范围以外的土料应采取针对性的技术措施。
土的最优含水率参考表
铺土厚度、压实遍数宜根据施工经验或试验确定。
压实机具主要有压路机、打夯机、振动器等。
采用压路机机械压实时，碾轮每次重叠宽度可控制在150mm～250mm，行驶速度宜控制在2km/h。
3、施工
土方回填应按设计要求预留沉降量或根据工程性质、回填高度、土料种类、压实系数、地基情况等确定。在行车、堆重、干湿交替等作用下，土体会逐渐沉降，若设计对沉降量无规定，采用机械回填时，砂土的预留沉降量(填土高度的百分比)可取1.5%，粉质黏土的预留沉降量可取3％～3.5%。
回填压实施工应符合下列规定：
（1）轮(夯)迹应相互搭接，机械压实应控制行驶速度。
（2）在建筑物转角、空间狭小等机械压实不能作业的区域，可采用人工压实的方法。
（3）回填面积较大的区域，应采取分层、分块(段)回填压实的方法，各块(段)交界面应设置成斜坡形，辗迹应重叠0.5m～1.0m，填土施工时的分层厚度及压实遍数应符合下表的规定，上、下层交界面应错开，错开距离不应小于1m。
填土施工时的分层厚度及压实遍数
基坑土方回填应符合下列规定：
（1）基础外墙有防水要求的，应在外墙防水施工完毕且验收合格后方可回填，防水层外侧宜设置保护层；
（2）基坑边坡或围护墙与基础外墙之间的土方回填，应与基础结构及基坑换撑施工工况保持一致，以回填作为基坑换撑的，应根据地下结构层数、设计工况分阶段进行土方回填，基坑设置混凝土或钢换撑带的，换撑带底部应采取保证回填密实的措施。
基坑设置混凝土换撑或钢换撑的，换撑下方的回填密实度较难保证，一般可采取在该部位回填砂、素混凝土的方法，也可在回填至换撑标高后，拆除换撑后再回填压实。
（3）宜对称、均衡地进行土方回填。基坑回填处理不当或地面超载过大可能会引起受力分布情况的变化，对基础结构可能会产生不利影响，故应遵守对称、均衡回填的要求。
（4）回填较深的基坑，土方回填应控制降落高度。若基坑较深，从地面直接将回填土料填至坑底时，土料降落高度较大，对已经完工的防水层可能产生破坏，可采用设置简易滑槽入坑的方法控制降落高度和速度，有利于工程产品保护。
4、质量检验
施工结束后，应进行标高和压实系数检验。
压实系数是回填密实度质量控制的重要指标，压实系数是土的控制干密度与最大干密度的比值，最大干密度是在最优含水率条件下，通过标准击实试验确定的。
土方回填的施工检验应符合下列规定：
（1）土方回填的施工质量检测应分层进行，应在每层压实系数符合设计要求后方可铺填上层土；
（2）应通过土料控制干密度和最大干密度的比值确定压实系数，土料的最大干密度应通过击实试验确定，土料的控制干密度可采用环刀法、灌砂法、灌水法或其他方法检验；
（3）采用轻型击实试验时，压实系数宜取高值，采用重型击实试验时，压实系数可取低值；
（4）基坑和室内土方回填，每层按100m2～500m2取样1组，且不应少于1组；柱基回填，每层抽样柱基总数的10％，且不应少于5组；基槽和管沟回填，每层按20m～50m取1组，且不应少于1组。