标准号T/CIECCPA 007-2024状态
发布日期：2024年03月04日
实施日期：2024年03月08日
半导体工业氮氧化物排放要求基本信息
标准编号：T/CIECCPA 007—2024
英文标题：Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements
国际标准分类号：13.040.40固定源排放限值
中国标准分类号：Z 05
国民经济分类：N772 环境治理业
起草人：李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤
起草单位：浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司
内容概括：本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。……