标准号T/NXCL 28-2024状态
发布日期：2024年02月06日
实施日期：2024年02月06日
半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚基本信息
标准编号：T/NXCL 28—2024
英文标题：Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
起草人：李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春
起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司
内容概括：本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（……