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扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 (SJ/T 11883-2022)

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扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 (SJ/T 11883-2022)

标准号SJ/T 11883-2022状态

发布于:2022-10-20

实施于:2023-01-01

扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法基本信息

标准号:SJ/T 11883-2022

制修订:制定

中国标准分类号:L 97

国际标准分类号:27.01

技术归口:中国电子技术标准化研究院

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:方法标准

适用范围:适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件

起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所

起草人:张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜

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