标准号SJ/T 11451-2013状态
发布于：2013-10-17
实施于：2013-12-01
扩散炉能源消耗规范
标准号：SJ/T 11451-2013
中国标准分类号：L01
国际标准分类号：31.550
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
李补忠、盛金龙 等
北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。