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半导体器件扩散炉能耗分等 (JB/T 5630-1991)

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半导体器件扩散炉能耗分等 (JB/T 5630-1991)

标准号JB/T 5630-1991状态

发布于:1991-08-27

实施于:1992-07-01

半导体器件扩散炉能耗分等

标准号:JB/T 5630-1991

中国标准分类号:J01

国际标准分类号:21-010

批准发布部门:机械电子工业部

行业分类:无

本标准规定了半导体器件扩散炉(以下简称扩散炉)能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。

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