标准号JB/T 5630-1991状态
发布于：1991-08-27
实施于：1992-07-01
半导体器件扩散炉能耗分等
标准号：JB/T 5630-1991
中国标准分类号：J01
国际标准分类号：21-010
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
发布于：1991-08-27
实施于：1992-07-01
标准号：JB/T 5630-1991
中国标准分类号：J01
国际标准分类号：21-010
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
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