标准号YS/T 791-2012状态
发布于：2012-11-07
实施于：2013-03-01
铂靶
标准号：YS/T 791-2012
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.120.99
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
王永辉、朱晓光
有研亿金新材料有限公司
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
发布于：2012-11-07
实施于：2013-03-01
标准号：YS/T 791-2012
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.120.99
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
王永辉、朱晓光
有研亿金新材料有限公司
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
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