镍铂靶材 (YS/T 937-2013）

标准号YS/T 937-2013状态

发布于：2013-10-17

实施于：2014-03-01

镍铂靶材

标准号：YS/T 937-2013

中国标准分类号：H68

国际标准分类号：77.150.99

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

朱晓光、顾新福 等

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。