标准号JC/T 2133-2012状态
发布于：2012-12-28
实施于：2013-06-01
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准号：JC/T 2133-2012
中国标准分类号：C14
国际标准分类号：71.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
陈奕睿、屈海云 等
中国科学院上海硅酸盐研究所
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。