标准号GB/T 26070-2010状态
发布于：2011-01-10
实施于：2011-10-01
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法基本信息
标准号：GB/T 26070-2010
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040.99 77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。