标准号YS/T 987-2014状态
发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
标准号：YS/T 987-2014
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
敖细平、王波 等
四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。 本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%～1.00%。