标准号SJ/T 11489-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
标准号：SJ/T 11489-2015
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29.049
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
章安辉、何秀坤、刘兵 等
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
本标准规定了低位错密度磷化铟（InP）抛光片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法。 本标准适用于直径2英寸且EPD小于5000／cm2 的圆形InP晶片的EPD的测量。